無塵室系統,製造符合規格之潔淨空氣,連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端,無塵室內的製造區(FAB)。一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。無塵室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、化工、生技、電子科技、食品廠等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格,才不會對製程產生影響。
空調系統工程
- 良好的溫濕度空間,服務從設備選機到管路的配置
- 為生活及產業帶來良好的產能效益
消防系統
- 新建及改建案法規檢討
- 申辦相關作業執行
- 消防水、電、氣系統施工及整合
製程管路工程
- CDA(壓縮乾燥空氣系統)
- PCW(製程冷卻水)
- 冷熱排、酸鹼排排氣系統
- 除塵系統
- 製程真空系統
機電系統工程
- 高低壓電力系統施工及整合
- 燈具、燈控、插座設備工程
- 衛生給排水系統工程